技術(shù)文章
當(dāng)前位置:首頁 > 技術(shù)文章
光刻膠烘箱是半導(dǎo)體制造、光電子器件加工中的關(guān)鍵設(shè)備,愛義信工業(yè)科技用于光刻膠(Photoresist)的前烘(Pre-Bake)和后烘(Post-Bake)工藝,其核心功能是控制膠膜的溶劑揮發(fā)、應(yīng)力釋放及化學(xué)鍵合,直接影響光刻圖形的分辨率和良率。一、光刻膠烘箱的核心技術(shù)要求1.溫度控制溫度范圍:室溫~250℃(根據(jù)光刻膠類型調(diào)整,如I線膠通常90~120℃,EUV膠需200℃以上)。均勻性:&pl...
HMDS烘箱主要用于半導(dǎo)體和微電子制造中的光刻工藝,具體應(yīng)用如下:1.去除光刻膠中的溶劑預(yù)烘烤:在涂覆光刻膠后,HMDS烘箱通過加熱去除膠中的溶劑,增強膠與基底的附著力。2.增強附著力HMDS處理:HMDS作為增附劑,烘箱加熱使其與基底表面反應(yīng),形成化學(xué)鍵,提升光刻膠的附著力。3.提高光刻精度均勻加熱:烘箱提供均勻加熱,確保光刻膠厚度一致,減少缺陷,提升圖案精度。4.工藝穩(wěn)定性精確控溫:烘箱具備精確的溫度控制,確保工藝穩(wěn)定性和重復(fù)性。5.提高生產(chǎn)效率批量處理:可同時處理多個晶...
全自動氮氣柜主要以氮氣為保護(hù)氣體,通過控制柜內(nèi)的氣體濃度和溫度,確保樣品在低氧或低溫環(huán)境中存儲。該設(shè)備是使用氮氣的惰性,避免氧氣和水分對樣品造成損害。氮氣不但能夠有效減緩樣品的氧化和水解反應(yīng),還能為某些易揮發(fā)物質(zhì)提供必要的保護(hù)。全自動氮氣柜的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛:1.食品加工:用于食品的保鮮和保存,延長食品的保質(zhì)期。2.化工:用于惰性氣體保護(hù)反應(yīng)過程中的原料和產(chǎn)物,保證反應(yīng)的純度和效果。3.制藥:保護(hù)藥品的純度和質(zhì)量,防止其受到濕氧的污染。4.半導(dǎo)體:廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的...
不銹鋼氮氣柜是一種用于存儲對濕度、氧氣敏感的物料或設(shè)備的專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)。以下是關(guān)于不銹鋼氮氣柜的詳細(xì)介紹:主要特點材質(zhì):采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼(如304或316不銹鋼),具有耐腐蝕、耐高溫、易清潔的特點。柜體結(jié)構(gòu)堅固,密封性能好,適合高潔凈度環(huán)境。氮氣環(huán)境:通過注入高純度氮氣,降低柜內(nèi)氧氣濃度,防止物料氧化或受潮。通常配備氧氣濃度監(jiān)測裝置,確保柜內(nèi)氧氣濃度維持在設(shè)定范圍內(nèi)(如低于1%)。濕度控制:內(nèi)置濕度控制系統(tǒng),可將柜內(nèi)濕度控制在極低水平(如低于1...
氮氣保護(hù)烘箱是一種專門設(shè)計用于在氮氣環(huán)境下進(jìn)行加熱和干燥的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、化學(xué)合成、電子器件和生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。主要功能是通過氮氣的惰性,使樣品在高溫條件下不與空氣中的氧氣反應(yīng),從而防止氧化、酯化等不良反應(yīng)。氮氣相比于空氣含氧量極低,能夠有效抑制火災(zāi)的發(fā)生及材料的劣化。氮氣保護(hù)烘箱的結(jié)構(gòu)組成:1.外殼:一般采用不銹鋼或噴塑材料,具有良好的耐腐蝕性和耐高溫性。2.內(nèi)膽:內(nèi)膽多采用耐高溫材料,具備良好的熱傳導(dǎo)性。3.加熱系統(tǒng):通常為電加熱系統(tǒng),確保加熱均勻。4.溫控系統(tǒng):...
無氧無塵烘箱是半導(dǎo)體行業(yè)中一種重要的設(shè)備,在半導(dǎo)體制造過程中,烘干是一個非常關(guān)鍵的步驟,可以保證芯片表面的水分和有機物被去除,從而提高芯片的品質(zhì)和性能。而無氧無塵烘箱就是專門為半導(dǎo)體芯片烘干而設(shè)計的設(shè)備。一、半導(dǎo)體芯片的后續(xù)加工在半導(dǎo)體芯片的制造過程中,首要將硅片進(jìn)行切割,然后進(jìn)行腐蝕、清洗等處理,ZUI后進(jìn)行電鍍和烘干,形成ZUI終的芯片產(chǎn)品。烘干是半導(dǎo)體制造過程中重要的一步,可以去除芯片表面的水分和有機物,保證芯片的品質(zhì)和性能。二、無氧無塵烘箱的作用無氧無塵烘箱是專門為半...
高低溫濕熱試驗機(又稱為環(huán)境試驗箱、濕熱試驗機)是一種廣泛應(yīng)用于各種行業(yè)的設(shè)備,主要用于模擬不同環(huán)境條件下,尤其是高溫、低溫和濕熱條件下的產(chǎn)品或材料性能測試。能夠為研發(fā)人員、工程師和生產(chǎn)商提供可靠的數(shù)據(jù)支持,以確保產(chǎn)品在特殊環(huán)境條件下的穩(wěn)定性和可靠性。主要用于測試材料、元件、設(shè)備或成品在溫濕度變化環(huán)境下的耐受性。它能夠通過設(shè)定溫度、濕度范圍,以及循環(huán)的時間來模擬實際使用過程中可能遇到的高溫、高濕、低溫、干燥等條件。常見的測試方法包括高低溫交變試驗、恒定高低溫試驗和濕熱試驗等。...
潔凈室氮氣柜是一種用于保護(hù)光敏材料等對空氣中微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備。主要通過向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮氣,從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。結(jié)構(gòu)由上、下兩部分組成,上部為氮氣發(fā)生器,下部為儲存?zhèn)}和過濾系統(tǒng)。氮氣發(fā)生器采用電解技術(shù),將普通空氣中的氧氣和氮氣分離,得到高純度的氮氣,其純度可達(dá)99.99%以上。儲存?zhèn)}內(nèi)裝有氮氣儲罐,過濾系統(tǒng)則包括粗濾、精濾和活性炭吸附三個部分,以去除殘留的雜質(zhì)和異味。潔凈室氮氣柜通過氮氣發(fā)生器產(chǎn)生高純度氮氣,并將氮氣通過管道輸送到工作區(qū)。工作區(qū)內(nèi)的...
智能氮氣柜要是利用氮氣來降低濕度從而防止氧化的,除濕效果非常穩(wěn)定,柜體本身具有送氮和排氣的通路,通過氮氣的充入濕度隨之降低。不僅能提供穩(wěn)定和持久的環(huán)境條件,還具有自動化控制、安全保護(hù)、數(shù)據(jù)記錄和追溯等功能,方便后續(xù)分析和審查。智能氮氣柜的氮氣控濕方式主要有三種:1.設(shè)置濕度值:采用自動感應(yīng)系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定的濕度值自動控制,當(dāng)?shù)獨夤駜?nèi)濕度超過設(shè)定值會自動打開氮氣供應(yīng),當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值會自動停止氮氣供應(yīng)。2.設(shè)置氧氣濃度:當(dāng)?shù)獨夤駜?nèi)的氧氣濃度超過設(shè)定值系統(tǒng)自動進(jìn)行充氮,達(dá)到設(shè)定值停止...
在真空行業(yè)內(nèi),有講絕對真空和相對真空之說,這里就說說這兩個真空。一是用“絕對壓力"、“絕對真空度"(即比“理論真空"高多少壓力)來標(biāo)識;在實際情況中,真空泵的絕對壓力值介于0~101.325KPa之間。絕對壓力值需要用絕對壓力儀表量,在20°C、海拔高度等于0的地方,用于的儀表(絕對真空表)的初始值為101.325KPa(即一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)。二是用“相對壓力"、“相對真空度"(即比“大氣壓"低多少壓力)來標(biāo)識。“相對真空度"是指被測對象的壓力與測量地點大氣壓的差值。用普通真空...
1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油,確保真空泵工作正常。3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污...
潔凈室氮氣柜是一種專門設(shè)計用于潔凈室或無塵車間的設(shè)備,主要用于氮氣的存儲、分配和相關(guān)工藝操作。這種設(shè)備在半導(dǎo)體制造、制藥、微電子、航空航天等高科技行業(yè)中發(fā)揮著重要的作用。氮氣柜通過提供一個恒定的氮氣環(huán)境,有效防止氧氣和水分對敏感材料的影響,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。潔凈室氮氣柜的結(jié)構(gòu)組成:1.機殼材料氮氣柜的外殼通常采用不銹鋼或防靜電塑料材料制成。這些材料不僅耐腐蝕、易清潔,還能防止靜電對柜內(nèi)設(shè)備和材料的影響。2.隔離門采用氣密性良好的雙層或旋轉(zhuǎn)門,以防止外界空氣滲入,確保柜內(nèi)...
無塵實驗室可以劃分成以下幾個等級:1、一級。一級無塵室主要適用于制作集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精準(zhǔn)需求為亞微米。2、十級。十級無塵室主要用于帶寬小于二微米的半導(dǎo)體工業(yè)。3、百級。百級無塵室一般用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制作工藝等,諸如外科手術(shù),包含移植手術(shù),集成器的制作,及對細(xì)菌感染敏感患者的隔離醫(yī)治,比如像骨髓移植患者術(shù)后的隔離醫(yī)治。4、千級。千級無塵室主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還有用于安裝測驗,安裝飛機蛇螺儀,安裝高質(zhì)微型軸承等。5、萬級。萬級無塵室主要用于液壓設(shè)備或...